De belangrijkste classificatie van sensoren:
Met opzet
Drukgevoelige en krachtgevoelige sensoren, positiesensoren, niveausensoren, energiesensoren, snelheidssensoren, versnellingsmeters, stralingssensoren, thermische sensoren.
In principe
Trillingssensor, vochtigheidssensor, magnetische sensor, gassensor, vacuümsensor, biosensor, enz.
Druk op uitgangssignaal
Analoge sensor: zet de gemeten niet-elektrische grootheid om in een analoog elektrisch signaal.
Digitale sensor: zet de gemeten niet-elektrische grootheden om in digitale uitgangssignalen (zowel direct als indirect).
Digitale sensor: zet de gemeten semafoor om in de uitvoer van een frequentiesignaal of kortcyclisch signaal (inclusief directe of indirecte conversie).
Switch Sensor: Wanneer een gemeten signaal een bepaalde drempel bereikt, geeft de sensor dienovereenkomstig een ingesteld laag of hoog signaal af.
Door productieproces
Geïntegreerde sensoren worden vervaardigd met behulp van standaard procestechnologie voor de productie van op silicium gebaseerde geïntegreerde halfgeleiderschakelingen.
Een deel van de circuits die worden gebruikt om het te testen signaal in eerste instantie te verwerken, is meestal ook geïntegreerd op dezelfde chip.
De dunne-filmsensor wordt gevormd door een film van een overeenkomstig gevoelig materiaal dat is afgezet op een diëlektrisch substraat (substraat). Bij gebruik van een mengproces kan op dit substraat ook een deel van de schakeling worden gefabriceerd.
De dikke-filmsensor wordt gemaakt door een suspensie van een overeenkomstig materiaal te coaten op een keramisch substraat, dat meestal is gemaakt van Al2O3, en vervolgens een warmtebehandeling ondergaan om een dikke film te vormen.
Keramische sensoren worden geproduceerd met behulp van standaard keramische processen of een variant daarvan (sol, gel, enz.).
Nadat de juiste voorbereidende bewerking is voltooid, wordt het gevormde onderdeel bij hoge temperatuur gesinterd. Er zijn veel gemeenschappelijke kenmerken tussen de twee processen van dikke film en keramische sensoren. In sommige opzichten kan het dikke-filmproces worden beschouwd als een variant van het keramische proces.
Elke procestechnologie heeft zijn eigen voor- en nadelen. Keramische en dikke-filmsensoren zijn redelijker vanwege
